| 发明名称 |
TEST METHOD OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5488084(A) |
申请公布日期 |
1979.07.12 |
| 申请号 |
JP19770156787 |
申请日期 |
1977.12.26 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
ASAOKA HIROMICHI;TAKANO KAZUYUKI |
| 分类号 |
G01R31/28;G01R31/26;G11C29/00;G11C29/44;H01L21/02;H01L21/66;H01L21/822;H01L27/04 |
主分类号 |
G01R31/28 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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