发明名称 |
METHOD OF FABRICATING SUBSTANCE SENSING ELECTROMAGNETIC WAVE AND PARTICLE RAY |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS5487494(A) |
申请公布日期 |
1979.07.11 |
申请号 |
JP19770154238 |
申请日期 |
1977.12.21 |
申请人 |
INST EREKUTOROSHINAMIKI AKADEM |
发明人 |
FUYACHIESURAFU WASHIRIEUITSUCH;ANDOREI ANDOREEEUITSUCHI KURIY |
分类号 |
H01L31/09;H01L31/00;H01L31/08;H01L31/10 |
主分类号 |
H01L31/09 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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