发明名称 METHOD OF FABRICATING SUBSTANCE SENSING ELECTROMAGNETIC WAVE AND PARTICLE RAY
摘要
申请公布号 JPS5487494(A) 申请公布日期 1979.07.11
申请号 JP19770154238 申请日期 1977.12.21
申请人 INST EREKUTOROSHINAMIKI AKADEM 发明人 FUYACHIESURAFU WASHIRIEUITSUCH;ANDOREI ANDOREEEUITSUCHI KURIY
分类号 H01L31/09;H01L31/00;H01L31/08;H01L31/10 主分类号 H01L31/09
代理机构 代理人
主权项
地址