发明名称 SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPS5487174(A) 申请公布日期 1979.07.11
申请号 JP19770155178 申请日期 1977.12.23
申请人 CHO LSI GIJUTSU KENKYU KUMIAI 发明人 SHIBATA KENJI;MOCHIZUKI TOORU;TSUJIMARU TAKANORI;MIZOGUCHI TAKAMARO
分类号 H01L21/3205;H01L21/60;H01L23/52 主分类号 H01L21/3205
代理机构 代理人
主权项
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