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发明名称 DEVICE AND METHOD FOR PELLET BONDING
摘要
申请公布号 JPS5486274(A) 申请公布日期 1979.07.09
申请号 JP19770154820 申请日期 1977.12.21
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 MOGAMI TAKESHI
分类号 H01L21/68;H01L21/52;H01L21/58;H01L21/67 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
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