| 发明名称 |
UNIFYING METHOD OF EPITAXIAL FILM THICKNESS USING ANODIC OXIDATION |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5484974(A) |
申请公布日期 |
1979.07.06 |
| 申请号 |
JP19770153246 |
申请日期 |
1977.12.20 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
SHIBATOMI AKIHIRO;NAGATA KOUHEI |
| 分类号 |
H01L29/80;H01L21/20;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/338;H01L29/78;H01L29/812 |
主分类号 |
H01L29/80 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
