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发明名称 FORMING METHOD OF SEMICONDUCTOR SURFACE PROTECT FILM
摘要
申请公布号 JPS5484977(A) 申请公布日期 1979.07.06
申请号 JP19770153419 申请日期 1977.12.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 MAEKAWA TOORU;SEI HIDEO
分类号 H01L21/318;H01L21/314 主分类号 H01L21/318
代理机构 代理人
主权项
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