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摘要
申请公布号 DE2214384(C3) 申请公布日期 1979.07.05
申请号 DE19722214384 申请日期 1972.03.24
申请人 DEUTSCHE ITT INDUSTRIES GMBH, 7800 FREIBURG 发明人 KRAFT, WOLFGANG, 7800 FREIBURG
分类号 H01L21/316;(IPC1-7):01L21/24;01L21/603;01L21/28 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
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