发明名称 VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR KORREKTUR VON ASTIGMATISMUS IN EINEM RASTERELEKTONENMIKROSKOP
摘要
申请公布号 DE2856688(A1) 申请公布日期 1979.07.05
申请号 DE19782856688 申请日期 1978.12.29
申请人 NIHON DENSHI K.K. 发明人 NAMAE,TAKAO;SOMEYA,TERUO
分类号 H01J37/153;H01J37/21;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28;H01J29/56 主分类号 H01J37/153
代理机构 代理人
主权项
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