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发明名称
VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR KORREKTUR VON ASTIGMATISMUS IN EINEM RASTERELEKTONENMIKROSKOP
摘要
申请公布号
DE2856688(A1)
申请公布日期
1979.07.05
申请号
DE19782856688
申请日期
1978.12.29
申请人
NIHON DENSHI K.K.
发明人
NAMAE,TAKAO;SOMEYA,TERUO
分类号
H01J37/153;H01J37/21;H01J37/28;(IPC1-7):H01J37/28;H01J29/56
主分类号
H01J37/153
代理机构
代理人
主权项
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