SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE,申请号JP19880217343-传众专利搜索

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发明名称	SEMICONDUCTOR MANUFACTURING DEVICE
摘要
申请公布号	JPH0265245(A)	申请公布日期	1990.03.05
申请号	JP19880217343	申请日期	1988.08.31
申请人	NEC YAMAGATA LTD	发明人	HAGA TAKESHI
分类号	H01L21/60;H01L21/50	主分类号	H01L21/60
代理机构		代理人
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