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发明名称
VORRICHTUNG ZUR KATHODENZERSTAEUBUNG
摘要
申请公布号
DE2856364(A1)
申请公布日期
1979.07.05
申请号
DE19782856364
申请日期
1978.12.27
申请人
COULTER SYSTEMS CORP.
发明人
R. KUEHNLE,MANFRED
分类号
C23C14/34;C23C14/50;(IPC1-7):C23C15/00
主分类号
C23C14/34
代理机构
代理人
主权项
地址
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