发明名称 STRAHLUNGSEMPFINDLICHE POSITIV ARBEITENDE MATERIALIEN
摘要
申请公布号 DE2757932(A1) 申请公布日期 1979.07.05
申请号 DE19772757932 申请日期 1977.12.24
申请人 LICENTIA PATENT-VERWALTUNGS-GMBH 发明人 HERSENER,JUERGEN,DR.-ING.;WILHELM,ALFRED
分类号 C08F20/00;C08F20/02;G03F7/039;H01L21/027;(IPC1-7):G03C1/68;H01L21/30;H01L21/312 主分类号 C08F20/00
代理机构 代理人
主权项
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