发明名称 INSPECTION METHOD OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS5484485(A) 申请公布日期 1979.07.05
申请号 JP19770151757 申请日期 1977.12.19
申请人 HITACHI LTD 发明人 TOKI HISASHI
分类号 H01L21/66 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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