| 发明名称 |
SILIZIUM-BIEGEPLATTE MIT INTEGRIERTEN PIEZORESISTIVEN HALBLEITER-DEHNMESSELEMENTEN |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2844893(A1) |
申请公布日期 |
1979.07.05 |
| 申请号 |
DE19782844893 |
申请日期 |
1978.10.14 |
| 申请人 |
VEB GERAETE- UND REGLER-WERKE TELTOW ZENTRALER ANLAGENBAU DER BMSR-TECHNIK |
发明人 |
LOEFFLER,FRANK,DR.-ING. |
| 分类号 |
G01L9/00;H01L27/20;(IPC1-7):H01L41/10 |
主分类号 |
G01L9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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