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经营范围
发明名称
ELECTRONNBEAM EXPOSURE UNIT
摘要
申请公布号
JPS5483773(A)
申请公布日期
1979.07.04
申请号
JP19770151555
申请日期
1977.12.16
申请人
FUJITSU LTD
发明人
NAKAYAMA NORIAKI;IGAKI SEIGO;OKABE MASAHIRO;FURUKAWA YASUO;INAGAKI YUUSHI
分类号
H01L21/027;H01L21/26
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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