发明名称 BONDING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5483769(A) 申请公布日期 1979.07.04
申请号 JP19770152012 申请日期 1977.12.17
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 HIRASE KIYOTO
分类号 H01L21/52;H01L21/58 主分类号 H01L21/52
代理机构 代理人
主权项
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