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发明名称
MEASUREMENT METHOD OF OPERATION OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPS5483382(A)
申请公布日期
1979.07.03
申请号
JP19770151297
申请日期
1977.12.15
申请人
NIPPON ELECTRIC CO
发明人
FUKUMA MASAO;OONO YASUO
分类号
H01L21/66;G01R31/302
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
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