发明名称 MEASUREMENT METHOD OF OPERATION OF INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS5483382(A) 申请公布日期 1979.07.03
申请号 JP19770151297 申请日期 1977.12.15
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 FUKUMA MASAO;OONO YASUO
分类号 H01L21/66;G01R31/302 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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