发明名称 SURFACE TREATMENT METHOD FOR PARTS OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5482972(A) 申请公布日期 1979.07.02
申请号 JP19770149949 申请日期 1977.12.15
申请人 TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO 发明人 NAKAMURA YUUZOU
分类号 H01L21/306;H01L21/302 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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