HEAT DIFFUSION FURNACE OF SEMICONDUCTOR PRODUCING DEVICE,申请号JP19770150843-传众专利搜索

发明名称	HEAT DIFFUSION FURNACE OF SEMICONDUCTOR PRODUCING DEVICE
摘要
申请公布号	JPS5482971(A)	申请公布日期	1979.07.02
申请号	JP19770150843	申请日期	1977.12.14
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	OOSAKI SABUROU;AKASAKA YOUICHI
分类号	H01L21/22	主分类号	H01L21/22
代理机构		代理人
主权项
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