发明名称 SUPPRESSING THE FORMATION OF STACKING FAULTS IN SILICON DEVICES
摘要
申请公布号 GB1547897(A) 申请公布日期 1979.06.27
申请号 GB19760026234 申请日期 1976.06.24
申请人 WESTERN ELECTRIC CO INC 发明人
分类号 H01L29/73;H01L21/205;H01L21/316;H01L21/318;H01L21/322;H01L21/331;(IPC1-7):H01L21/32 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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