发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5480683(A) 申请公布日期 1979.06.27
申请号 JP19770147221 申请日期 1977.12.09
申请人 FUJITSU LTD 发明人 YOKOYAMA NAOKI;MIMURA TAKASHI
分类号 H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
地址