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发明名称 SEMICONDUCTOR HUMIDITY SENSOR
摘要
申请公布号 JPS5480197(A) 申请公布日期 1979.06.26
申请号 JP19770147495 申请日期 1977.12.08
申请人 SUWA SEIKOSHA KK 发明人 SUZUKI TOSHIHARU
分类号 G01N27/00;H01L29/78 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
主权项
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