ION BEAM GENERATOR,申请号JP19770147927-传众专利搜索

发明名称	ION BEAM GENERATOR
摘要
申请公布号	JPS5480068(A)	申请公布日期	1979.06.26
申请号	JP19770147927	申请日期	1977.12.08
申请人	AKAI ELECTRIC	发明人	MATSUI TSUTOMU
分类号	H01J3/04;C23C14/24;C23C14/30;C23C14/32;C23C14/34;C23C14/46;H01J27/00;H01J27/20;H01J37/08;H01J37/30;H01J49/14;H01L21/302	主分类号	H01J3/04
代理机构		代理人
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