| 发明名称 |
GROWTH DEVICE FOR SEMICONDUCTOR CRYSTAL |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5479559(A) |
申请公布日期 |
1979.06.25 |
| 申请号 |
JP19770147402 |
申请日期 |
1977.12.07 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
ITOU MICHIHIRO;ODA TAKAO;SEGAWA KAZUAKI;OOTSUBO CHIKAYUKI;MITSUI SHIGERU |
| 分类号 |
H01L47/02;C30B25/10;C30B29/40;H01L21/205;H01L47/00 |
主分类号 |
H01L47/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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