| 发明名称 |
VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON METALLMUSTERN AUF SILIZIUMSCHEIBEN FUER DIE THERMOMIGRATION |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE2801862(A1) |
申请公布日期 |
1979.06.21 |
| 申请号 |
DE19782801862 |
申请日期 |
1978.01.17 |
| 申请人 |
BBC AG BROWN,BOVERI & CIE |
发明人 |
TIBERIU,MIZRAH,DR. |
| 分类号 |
H01L21/24;(IPC1-7):H01L21/24;H01L21/32 |
主分类号 |
H01L21/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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