发明名称 MESSVORRICHTUNG ZUR KAPAZITIVEN BESTIMMUNG DER RELATIVEN LAGEN ZWEIER ZUEINANDER BEWEGLICHER TEILE
摘要
申请公布号 DE2853142(A1) 申请公布日期 1979.06.21
申请号 DE19782853142 申请日期 1978.12.08
申请人 STIFTELSEN INSTITUTET FOER MIKROVAAGSTEKNIK VID TEKNISKA HOEGSKOLAN 发明人 ANDERMO,INGVAR
分类号 G01D5/24;G01D5/241;(IPC1-7):G01D5/24;G01B7/00 主分类号 G01D5/24
代理机构 代理人
主权项
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