发明名称 PROCEDIMENTO E DISPOSITIVO PE L ACCOPPIAMENTO DI PEZZI IN CONDIZIONI DI ESATTO ALLINEAMENTO PARTICOLARMENTE PER LA FABBRICAZIONE DI MICROCIRCUITI
摘要
申请公布号 IT1032985(B) 申请公布日期 1979.06.20
申请号 IT19750068357 申请日期 1975.05.26
申请人 WESTERN ELECTRIC CO INC 发明人
分类号 B65G47/14;G03F9/00;G05D3/12;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/68;(IPC1-7):H01L/ 主分类号 B65G47/14
代理机构 代理人
主权项
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