发明名称 Dissolution of metals utilizing a H{HD 2{L O{HD 2{L -sulfuric acid solution catalyzed with selenium compounds
摘要 Clean etchings at high rates are obtained using a solution containing sulfuric acid, hydrogen peroxide, a catalytic amount of a selenium compound of a +4 oxidation state and a secondary or tertiary alcohol.
申请公布号 US4158593(A) 申请公布日期 1979.06.19
申请号 US19770849576 申请日期 1977.11.08
申请人 DART INDUSTRIES INC. 发明人 ALLAN, JOHN L. H.;READIO, PHILIP D.
分类号 C23F1/16;H05K3/06;(IPC1-7):C09K13/06;C23F1/00 主分类号 C23F1/16
代理机构 代理人
主权项
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