发明名称 Aqueous photoresist comprising casein and methylol acrylamide
摘要 The addition of N-methylol acrylamide as an accelerator to casein-based aqueous photoresist compositions reduces the baking temperature required to render the developed resist etch resistant.
申请公布号 US4158566(A) 申请公布日期 1979.06.19
申请号 US19780877481 申请日期 1978.02.13
申请人 RCA CORPORATION 发明人 GOLDMAN, ABRAHAM
分类号 G03F7/032;G03F7/04;(IPC1-7):G03C5/00;G03C1/68 主分类号 G03F7/032
代理机构 代理人
主权项
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