发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5476070(A) 申请公布日期 1979.06.18
申请号 JP19770143594 申请日期 1977.11.30
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIRAI KAZUNARI
分类号 H01L29/78;H01L21/302;H01L21/306;H01L29/76 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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