MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE,申请号JP19770144323-传众专利搜索

发明名称	MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号	JPS5476064(A)	申请公布日期	1979.06.18
申请号	JP19770144323	申请日期	1977.11.30
申请人	MITSUBISHI ELECTRIC CORP	发明人	ITOGA KEIJI
分类号	H01L21/52;H01L21/58	主分类号	H01L21/52
代理机构		代理人
主权项
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