发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5475994(A) 申请公布日期 1979.06.18
申请号 JP19770143453 申请日期 1977.11.29
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 NAGANO KAZUTOSHI;KAJIWARA KOUSEI
分类号 H01L21/76 主分类号 H01L21/76
代理机构 代理人
主权项
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