发明名称 Anordnung und Verfahren zum Verhindern des Verspratzens von Metall beim Aufdampfen duenner Metallschichten
摘要
申请公布号 DE1926927(A1) 申请公布日期 1969.12.04
申请号 DE19691926927 申请日期 1969.05.27
申请人 BURROUGHS CORP. 发明人 A. COLA,RUDOPH;F. GERBER,JOHANNES
分类号 C23C14/26 主分类号 C23C14/26
代理机构 代理人
主权项
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