发明名称
摘要 PURPOSE:As a detection signal, to use the ration of the intensity of the ray having the specified energy value to that of the ray whose energy is lower than that specified value among the secondary electron rays emitted in the particular direction from a sample.
申请公布号 JPS5415516(B2) 申请公布日期 1979.06.15
申请号 JP19750089381 申请日期 1975.07.22
申请人 发明人
分类号 G01N23/227;G01T1/36;H01J37/252;H01J49/44 主分类号 G01N23/227
代理机构 代理人
主权项
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