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发明名称 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER HALBLEITEREINRICHTUNG
摘要
申请公布号 DE2852123(A1) 申请公布日期 1979.06.13
申请号 DE19782852123 申请日期 1978.12.01
申请人 K.K. DAINI SEIKOSHA 发明人 KOJIMA,MASAYUKI
分类号 H01L21/8222;H01L21/225;H01L21/265;H01L21/74;H01L21/82;H01L27/02;H01L27/06;H01L27/07;H03K19/091;(IPC1-7):H01L21/22;H01L29/76 主分类号 H01L21/8222
代理机构 代理人
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