发明名称 HALBLEITERGASFUEHLER
摘要
申请公布号 DE2852999(A1) 申请公布日期 1979.06.13
申请号 DE19782852999 申请日期 1978.12.07
申请人 K.K. SUWA SEIKOSHA 发明人 SUZUKI,SHUNJI
分类号 G01N27/00;G01N27/414;H01L29/78;(IPC1-7):01L29/78 主分类号 G01N27/00
代理机构 代理人
主权项
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