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发明名称 PHOSPHORDIFFUSIONSVERFAHREN FUER HALBLEITERANWENDUNGEN
摘要
申请公布号 DE2754833(A1) 申请公布日期 1979.06.13
申请号 DE19772754833 申请日期 1977.12.09
申请人 IBM DEUTSCHLAND GMBH 发明人 BRISKA,MARIAN,DIPL.-ING.;HOFFMEISTER,WOLFGANG,DIPL.-CHEM.DR.;PETER THIEL,KLAUS
分类号 C30B31/02;H01L21/22;H01L21/225;(IPC1-7):B01J17/36 主分类号 C30B31/02
代理机构 代理人
主权项
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