发明名称 TESTING APPARATUS OF SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPS5473581(A) 申请公布日期 1979.06.12
申请号 JP19770140006 申请日期 1977.11.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 NAKASHIMA HIROYUKI;KANETANI MUTSUYO;NAKAHARA KINICHI
分类号 G01R31/26 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
地址