发明名称 ELECTRON BEAM EXPOSURE METHOD
摘要
申请公布号 JPS5473577(A) 申请公布日期 1979.06.12
申请号 JP19770140918 申请日期 1977.11.24
申请人 FUJITSU LTD 发明人 UEMA TAKEARI;YASUDA HIROSHI;NISHINO HISAYASU
分类号 H01L21/027;H01L21/26 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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