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发明名称 SPIN COATER
摘要
申请公布号 JPS5473572(A) 申请公布日期 1979.06.12
申请号 JP19770140007 申请日期 1977.11.24
申请人 HITACHI LTD 发明人 ONO RIYOUICHI
分类号 B05C11/08;B05C9/02;H01L21/027;H01L21/302 主分类号 B05C11/08
代理机构 代理人
主权项
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