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经营范围
发明名称
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号
JPS5473559(A)
申请公布日期
1979.06.12
申请号
JP19770140010
申请日期
1977.11.24
申请人
HITACHI LTD
发明人
TOKUE TOSHIO
分类号
H01L21/60;H01L21/28;H01L21/331;H01L21/52;H01L29/72;H01L29/73
主分类号
H01L21/60
代理机构
代理人
主权项
地址
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