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发明名称 PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5471564(A) 申请公布日期 1979.06.08
申请号 JP19770138604 申请日期 1977.11.17
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 INOUE KAORU;HIRAO TAKASHI;TAKAYANAGI SHIGETOSHI
分类号 H01L29/78;H01L21/28 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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