| 发明名称 |
PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS5471561(A) |
申请公布日期 |
1979.06.08 |
| 申请号 |
JP19770137891 |
申请日期 |
1977.11.18 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
FUKUYAMA MASATAKA;YAMAGUCHI KATSUNORI;USUI MASAMI |
| 分类号 |
H01L21/673;H01L21/22;H01L21/223;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/673 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
