| 发明名称 |
FORMING METHOD OF THIN FILM PATTERN OF OXIDE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5471393(A) |
申请公布日期 |
1979.06.07 |
| 申请号 |
JP19770138073 |
申请日期 |
1977.11.16 |
| 申请人 |
MITSUBISHI ELECTRIC CORP |
发明人 |
YAMAMOTO HIDEKO;OODERA SUSUMU;TSUKAO RIYUUSAKU;SUGIURA TOSHIO |
| 分类号 |
H01B13/00;H01B1/00;H05K3/00;H05K3/06 |
主分类号 |
H01B13/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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