| 发明名称 |
WERKWIJZE VOOR DE VERVAARDIGING VAN ZEER ZUIVERE HALF- GELEIDERMATERIALEN EN METALEN. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
NL7811027(A) |
申请公布日期 |
1979.06.06 |
| 申请号 |
NL19780011027 |
申请日期 |
1978.11.06 |
| 申请人 |
WACKER-CHEMITRONIC, GESELLSCHAFT FUER ELEKTRONIK-GRUNDSTOFFE M.B.H. TE BURGHAUSEN, BONDSREPUBLIEK DUITSLAND. |
发明人 |
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| 分类号 |
C30B25/10;B01J19/00;C01B31/36;C01B33/035;C23C16/24;C23C16/46;C30B25/16;H01L21/205;(IPC1-7):C01B33/02;B01J17/32;C21B15/00;C22B5/00 |
主分类号 |
C30B25/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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