发明名称 AUTOMATIC SELECTION METHOD FOR SEMICONDUCTOR ELEMENT AND ITS APPARATUS
摘要
申请公布号 JPS5469077(A) 申请公布日期 1979.06.02
申请号 JP19770136085 申请日期 1977.11.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SHIMOMURA TAKAYOSHI
分类号 G01R31/26;H01L21/66 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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