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发明名称 HEAT PROCESSOR
摘要
申请公布号 JPS5469061(A) 申请公布日期 1979.06.02
申请号 JP19770136084 申请日期 1977.11.11
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 SAKURAI HIROMI;ASAI SOTOHISA
分类号 H01L21/02;H01L21/22;H01L21/68 主分类号 H01L21/02
代理机构 代理人
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