| 发明名称 |
DETECTOR FOR SEMICONDUCTOR CHIP BONDER |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS5467768(A) |
申请公布日期 |
1979.05.31 |
| 申请号 |
JP19770134081 |
申请日期 |
1977.11.10 |
| 申请人 |
TOKYO SHIBAURA ELECTRIC CO |
发明人 |
HITOMI YUTAKA;TSUMURA KAZUHIRO;KOHAMA MASAO |
| 分类号 |
H01L21/67;H01L21/52;H01L21/58;H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/67 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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