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发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5466780(A) 申请公布日期 1979.05.29
申请号 JP19770133694 申请日期 1977.11.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 USUI TOSHIO
分类号 H01L29/80;H01L21/28;H01L29/06;H01L29/417 主分类号 H01L29/80
代理机构 代理人
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