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发明名称 ION IMPLANTATION METHOD
摘要
申请公布号 JPS5464460(A) 申请公布日期 1979.05.24
申请号 JP19780124237 申请日期 1978.10.11
申请人 GUREGORIO SUPADEA 发明人 GUREGORIO SUPADEA
分类号 H01L27/092;H01L21/265;H01L21/266;H01L21/8234;H01L21/8238;H01L27/06;H01L29/78 主分类号 H01L27/092
代理机构 代理人
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