发明名称 MANUFACTURE FOR SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS5464474(A) 申请公布日期 1979.05.24
申请号 JP19770131071 申请日期 1977.10.31
申请人 NIPPON ELECTRIC CO 发明人 ICHINOSE SUSUMU
分类号 H01L21/28;H01L21/302 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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